鉬帶溫場 SZR13-5-SHJD真空熱壓燒結(jié)爐
設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)
1 電源電壓：AC380V±10% 50Hz 三相五線制
2 使用溫度：≤1300℃
3 設(shè)計(jì)溫度：1500℃
4 工作區(qū)尺寸：φ100*100mm
5 加熱區(qū)尺寸：φ150x200mm
6 加熱區(qū)：一區(qū)
7 控溫精度：±1℃
8 工作區(qū)均溫性：≤±5℃
9 功率：≤20KW
10 冷態(tài)極限真空度：6.67*10-3Pa（空爐、冷態(tài)、烘烤除氣后）
11 壓升率：≤5Pa/h
12 充氣氣氛：氬氣或其他惰性氣體
13 充氣壓力（微正壓）：≤0.015MPa
14 壓力：≤5T 底部液壓加壓（數(shù)顯、自動(dòng)調(diào)壓、自動(dòng)保壓、伺服電動(dòng)）
15 壓頭直徑：Ф85mm
16 壓力波動(dòng)：≤±100N，位移精度:0.01mm
17 壓力行程：0～100mm（數(shù)顯）
18 壓力控制：伺服電動(dòng)缸加載
19 溫度控制與測量：一控兩測，上中下三點(diǎn)分布（S型熱電偶）
20 壓頭材質(zhì)：熱室外水冷不銹鋼+熱室內(nèi)為高強(qiáng)石墨壓塊
鉬帶溫場 SZR13-5-SHJD真空熱壓燒結(jié)爐
設(shè)備的組成和結(jié)構(gòu)
該設(shè)備由爐體、加熱隔熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、伺服電動(dòng)缸加壓系統(tǒng)、充放氣系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等幾部分組成。
1 爐門
爐門采用雙層不銹鋼（SUS304）水夾層法蘭結(jié)構(gòu)，與法蘭組焊成一個(gè)整體。其中內(nèi)壁拋光，外壁拉絲處理。爐門上設(shè)有冷卻水進(jìn)出接口、觀察窗，爐門鎖緊裝置等。門鎖緊采用手輪壓緊的方式，可保證設(shè)備在微正壓下工作。
2 爐體
爐體采用雙層不銹鋼（SUS304）水冷結(jié)構(gòu)，爐體上下分別組焊有上下壓頭安裝座。正面法蘭平面上開設(shè)有燕尾型密封槽，采用O型硅橡膠密封圈密封。爐內(nèi)壁拋光，外壁拉絲處理。爐體側(cè)面設(shè)有冷卻水進(jìn)出口、真空抽氣口、熱電偶安裝口，電極安裝座等。
3 龍門架
龍門架由上、下橫梁、雙立柱、箱體等組成，作為上下壓頭支座及爐體支撐。
4 加熱及隔熱系統(tǒng)
加熱采用優(yōu)質(zhì)鉬絲/帶作發(fā)熱體，前后兩側(cè)分布，產(chǎn)品受熱均勻。隔熱采用多層金屬反射屏，內(nèi)層為多層鉬反射屏，外層為SUS304反射屏，保溫效果好，耐沖擊性好。整個(gè)隔熱屏采用金屬框架固定，便于安裝與維護(hù)。溫度控制采用一支S型熱電偶，同時(shí)在主控溫的上下位置（工作區(qū)內(nèi)）布置兩個(gè)監(jiān)測熱電偶，用于監(jiān)測溫場的溫度。提高設(shè)備的安全使用性能
5 真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)采用二級泵配置，由一臺(tái)TK-200擴(kuò)散泵，一臺(tái)TRP-36直連泵、高真空閥、充氣閥、放氣閥、真空壓力表、真空測量規(guī)管等組成，真空管道與泵的聯(lián)接采用金屬波紋管減緩震動(dòng)，真空度的測量由數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)執(zhí)行。
